フィナンシャル・タイムズ:ファーウェイが国産露光装置を統括、宇量昇(Yuliangsheng)のDUVは年内12台を目標
ファーウェイ(Huawei)が中国の露光装置サプライチェーンへの関与を強めている。同社は関連企業への投資に加え、サプライヤーやファウンドリを調整し、国産DUV露光装置の実用化を推進している。特に上海の宇量昇(Yuliangsheng)が開発する装置は、中芯国際(SMIC)やファーウェイのラインでテストされており、年内に12台の生産を目指す。ただし、レンズはドイツのツァイス(Zeiss)製に依存するなど、海外サプライチェーンからの完全な脱却には至っていない。
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